质量流量控制器_北京京象环境科技有限公司

产品详情

一、产品概述

FM3000系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。FM3000系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量。采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到优于100ms的控制速度，并保持极佳稳定性。

二、产品特点

● 响应时间快仅需100ms(可调)；

● 高精度、高分辨率控制；

● DC 9-36V 宽电压供电；

● 低功率，功率＜2W；

● 集成 40 种基础气体种类；

● 可自定义 10 种混合气体；

● 控制参数自整定功能；

● 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式；

● 宽流量量程范围；

● 无需预热；

● 无安装方向限制；

● 具有高重复性和高可靠性；

● 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快；

● 自带温度补偿，补偿范围0-50℃；

● 内部闭环控制，具有高稳定性；

● 小封装尺寸；

三、产品规格

■	流量规格	（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min
■	流量规格	（1，2，3，5，10，20，30，50）L/min
■	调节阀类型	电磁调节阀
■	调节阀静止状态	常闭
■	安装角度	任意
■	流量控制范围	2%—100%F.S.
■	流量测量范围	0%—100%F.S.
■	响应时间	≤1sec
■	工作环境温度	5℃-50℃
■	精度保证温度	15℃—35℃
■	精度	±1.0%S.P.（30%F.S.≤）；±0.30%F.S.（<30%F.S.）
■	线性精度	±0.5%F.S.
■	重复性	±0.2%F.S.
■	最大工作压力	300kPa（G）
■	耐压	1MPa（G）
■	工作压差	10mL/min-5L/min（50-300）kPa（D）
		10mL/min-30L/min（100-300）kPa（D）
		50L/min（150-300）kPa（D）
■	泄露率	<1×10^-8Pa m³/s(He)
■	接触气体材料	316L,Viton,PTFE
■	管路接头	Swagelok：Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4”;VCR：1/4”,3/8”
■	供电电源	±15VDC（±5%）（+15V，≤150mA;-15V,≤150mA）
■	设定信号	数字：RS485
■ ■	流量输出信号	数字：RS485
■	通讯接口	数字RS485
		波特率9600bps
		Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围1-255
■	重量（kg）	0.9kg

四、产品应用

Ø 生物制药：发酵反应气的过程控制；

Ø 食品饮料：混合，装瓶过程控制，干燥冷却，包装保护器；

Ø 工业炉：火焰/燃烧控制/气体混合；

Ø 真空镀膜：薄膜沉积过程控制；

Ø 汽车：排放测试，排放监控、测量压缩气体；

Ø 热处理：燃烧控制，焊接；

Ø 分析/气体分析：抽样分析。气体抽样比例测试，从色谱仪中核查多气体流动的气流气压；

Ø 光纤：MCVD/VAD/OVD；

Ø PV：扩散过程气体/PECVD/离子注入；